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2025-06

星期 二

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硅片微流道加工在微纳器件中的应用拓展:硅片作为MEMS工艺的主流材料,在微流控芯片中兼具机械强度与加工精度优势。公司利用深硅刻蚀(DRIE)技术实现高深宽比(>20:1)微流道加工,深度可达500μm以上,适用于高压流体控制

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2025-06

星期 二

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微针电极与组织液提取芯片的创新加工技术:微针电极作为生物检测与给药的前沿器件,需兼顾机械强度与生物相容性。公司采用干湿结合刻蚀工艺,在硅或硬质塑料基板上制备直径10-100μm、高度500-1000μm的微针阵列,针尖曲率半径控制

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2025-06

星期 二

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高聚物材料加工工艺:是以高聚物材料为基片加工微流控芯片的方法主要有:模塑法、热压法、LIGA技术、激光刻蚀法和软光刻等。模塑法是先利用半导体/MEMS光刻和蚀刻的方法制作出通道部分突起的阳模,然后在阳模上浇注液体的高分子材料,将固

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2025-06

星期 一

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基于微流控技术的生物医学,应用微流控技术在药物筛选、蛋白质组学、医学诊断、生物传感器和组织工程等方面有着很好的应用前景。微流控芯片技术在药物开发、农药残留分析、检测和食品安全传感中发挥着重要作用,芯片也可以与其他各种设备集成,即比

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2025-06

星期 一

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柔性电极芯片在脑机接口中的关键加工工艺:脑机接口技术对柔性电极的超薄化、生物相容性及信号稳定性提出极高要求。公司利用MEMS薄膜沉积与光刻技术,在聚酰亚胺(PI)或PDMS柔性基板上制备厚度<10μm的金属电极阵列,电极间距

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